中芯國(guó)際日前決定向天津華海清科機(jī)電科技有限公司購(gòu)買12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備——Universal-300拋光機(jī)（簡(jiǎn)稱CMP），用于大生產(chǎn)線wafer reclaim(硅片再制造)生產(chǎn)。該CMP設(shè)備同時(shí)也通過了指紋芯片產(chǎn)品驗(yàn)證，這意味著我們的智能手機(jī)不久將可以使用國(guó)產(chǎn)CMP制造的芯片，美日歐廠商壟斷市場(chǎng)的局面將被打破。

在國(guó)家02專項(xiàng)支持下，清華大學(xué)研制出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸“干進(jìn)干出”銅制程拋光機(jī)，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。天津華海清科承接清華大學(xué)的核心專利技術(shù)，同時(shí)也成建制地承接了CMP研發(fā)團(tuán)隊(duì)，保證了公司人才隊(duì)伍的完整性和技術(shù)研發(fā)的可持續(xù)。