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日本礙子展出運用陶瓷技術(shù)的晶圓,使用高純度氧化鋁

2020-05-19 12:01:49 268

在正于幕張Messe會展中心舉行的“CEATEC JAPAN 2016”(10月4~7日)上,日本礙子在其展區(qū)內(nèi)設(shè)置了一塊區(qū)域,展示運用了陶瓷技術(shù)的電子元器件制造用晶圓。該公司是已有約100年歷史的陶瓷部件廠商,主力產(chǎn)品是輸電線支撐部等的陶瓷絕緣子(電瓷)。晶圓是其材料技術(shù)及加工技術(shù)的新應(yīng)用領(lǐng)域之一。

電瓷

日本礙子2014年宣布實現(xiàn)業(yè)務(wù)化的“復(fù)合晶圓”是在硅(Si)、各種陶瓷、玻璃等底板上粘貼很薄的功能層制造而成的。該公司已面向智能手機等使用的SAW濾波器的制造用途,推出了在硅底板上粘貼壓電體功能層的晶圓。

據(jù)介紹,硅的熱膨脹率小,通過在硅底板上粘貼壓電體,可以獲得具有壓電性,而熱膨脹率只有原來三分之一左右的晶圓,由于受熱伸縮較小,所以能制作出濾波性能好的SAW濾波器。晶圓運用了加工誤差為納米級的基板研磨技術(shù),以及以極薄的接合層高強度接合不同材料的技術(shù)等。

另外,日本礙子此次還參考展出了使用透光性陶瓷材料“Hiceram”的晶圓,這種材料使用純度高達99.99%以上的氧化鋁(Al2O3)作為原料。使用Hiceram,除了具有通孔的晶圓、粘貼硅功能層的基板之外,還可以制造僅在生產(chǎn)過程中與極薄晶圓或低強度晶圓粘合在一起使用的支撐基板等。

日本礙子打算面向高頻CMOS元器件的制造用途,提出用Hiceram基板替代藍寶石作為絕緣基板的解決方案。Hiceram基板的特點是,與藍寶石相比容易擴大口徑(能擴大到12厘米),可降低成本,性能水平接近藍寶石。


標簽: 半導(dǎo)體

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